- Planox process
- технологія «Планокс» (для виготовлення МОН ВІС)
English-Ukrainian dictionary of microelectronics. 2013.
Planox process
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LOCOS — LOCOS, kurz für Local Oxidation of Silicon (dt. »lokale Oxidation von Silicium«, ist in der Halbleitertechnik ein Verfahren zur elektrischen Isolation von Bauelementen (meist Transistoren). Dafür wird der Silicium Wafer an ausgewählten Stellen… … Deutsch Wikipedia
